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一.中频电源(蒂姆新材料)依据需要驱动工作的磁控靶有效工作总表面积以及要运行的电流密度来 计算出所需总电流强度,从而选定中频电源。 举例如下:假设负载为圆柱靶,外径7...
现在都在使用脉冲偏压,它在电弧离子镀中起到的什么作用?发生什么现象呢?...
1) 电弧离子镀中直流偏压的不足.电弧离子的离化率高达60%~90%,具有沉积速度快、膜基结合力强、绕镀性好、…...
偏压电源(Bias power supply )是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在真空离子镀膜中,偏压电源的好坏对于成膜质量起着非常关键的作用。偏压(Bias)是指在镀...
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